美(mei)國(guó)MKS真空計(jì)(ji)的量程範(fàn)(fan)圍美(mei)國(guó)MKS真空計(jì)(ji)是測(cè)(ce)量真空度(du)或氣(qi)壓(ya)的(de)儀器。壹般是利用(yong)不(bu)同氣(qi)壓(ya)下(xia)氣(qi)體(ti)的(de)某(mou)種物理(li)效應(yīng)的變化(hua)進(jìn)(jin)行氣(qi)壓(ya)的(de)測(cè)(ce)量。在科(ke)研和工(gong)業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。美(mei)國(guó)MKS真空計(jì)(ji)量程範(fàn)(fan)圍：
在(zai)較高(gao)壓(ya)力(li)時(shí)(shi)(10～1Pa)利用(yong)壓(ya)力(li)差U型管壓(ya)力(li)計(jì)(ji)，麥(mai)克(ke)勞(lao)真空計(jì)(ji)，薄(bo)膜(mo)計(jì)(ji)，彈簧管壓(ya)力(li)計(jì)(ji)等(deng)[1] 。
在(zai)10～10Pa的中(zhong)間壓(ya)力(li)範(fàn)圍，利用氣(qi)體(ti)性(xing)質(zhì)(熱(re)傳(chuan)導(dǎo)(dao)，粘(zhan)性(xing))的變(bian)化(hua)而(er)做成(cheng)的皮氏計(jì)(ji)、粘(zhan)性(xing)真空計(jì)(ji)。
在低(di)壓(ya)力(li)時(shí)(shi)，使用(yong)將氣(qi)體(ti)分子電(dian)離而(er)測(cè)(ce)量的電(dian)離真空計(jì)(ji)。
美(mei)國(guó)MKS真空計(jì)(ji)可將主(zhu)要的真空計(jì)(ji)分為三大類(lei)，分別是利用(yong)力(li)學(xué)性(xing)能(neng)、利(li)用(yong)氣(qi)體(ti)動(dòng)力(li)學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)(ji)。利用(yong)力(li)學(xué)性(xing)能(neng)的(de)真空計(jì)(ji)典(dian)型的(de)有(you)波爾(er)登(deng)規(guī)（Bourdon）和薄(bo)膜(mo)電容規(guī)；利用(yong)氣(qi)體(ti)動(dòng)力(li)學(xué)效應(yīng)的典(dian)型真空計(jì)(ji)有(you)皮拉(la)尼(ni)（Pirani）電阻規(guī)和熱(re)電偶(ou)規(guī)；利用(yong)帶電粒子效應(yīng)的典(dian)型真空計(jì)(ji)有(you)熱(re)陰極(ji)電(dian)離規(guī)和冷(leng)陰極(ji)電離規(guī)。壹個(gè)(ge)是它的(de)測(cè)(ce)量範(fàn)圍(wei)，壹個(gè)(ge)是它的(de)測(cè)(ce)量精度(du)。皮拉(la)尼(ni)（電阻）真空計(jì)(ji)，國(guó)內(nèi)(nei)的產(chǎn)品(pin)測(cè)(ce)量範(fàn)圍(wei)上(shang)限(xian)是壹個(gè)(ge)大(da)氣(qi)壓(ya)，下(xia)限(xian)到0.1帕，精度為正負(fù)(fu)50%。國(guó)(guo)外的產(chǎn)品(pin)測(cè)(ce)量範(fàn)圍(wei)上(shang)限(xian)是壹個(gè)(ge)大(da)氣(qi)壓(ya)，下(xia)限(xian)到0.01帕，精度為正負(fù)(fu)20%。冷(leng)陰極（電離）真空計(jì)(ji)，目前(qian)國(guó)內(nèi)外的產(chǎn)品(pin)測(cè)(ce)量範(fàn)圍(wei)上(shang)限(xian)壹般都是1帕，精(jing)度(du)為正負(fù)(fu)50%。MKS流(liu)量計(jì)(ji)是以單(dan)位時(shí)(shi)間內(nèi)壓(ya)力(li)體(ti)積(ji)的(de)流(liu)量方式(shi)來(lái)控制氣(qi)體(ti)質(zhì)(zhi)量流(liu)量的測(cè)(ce)量?jī)x器。MKS薄(bo)膜(mo)真空計(jì)(ji)、MKS流(liu)量控制閥(fa)、MKS流(liu)量計(jì)(ji)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)(dao)體(ti)行(xing)業(yè)(ye)，鍍(du)膜(mo)玻璃(li)，醫(yī)(yi)藥(yao)制藥行業(yè)(ye)，生(sheng)物(wu)工程(cheng)行業(yè)(ye)，適合(he)各種氣(qi)體(ti)媒介(jie)，常用的(de)有(you)氧(yang)氣(qi)，氫(qing)氣(qi)，氮(dan)氣(qi)，氯化(hua)氫(qing)氣(qi)體(ti)，氨(an)氣(qi)，SICL4矽(gui)烷氣(qi)體(ti)等(deng)。
美(mei)國(guó)MKS流(liu)量計(jì)(ji)、MKS薄(bo)膜(mo)真空計(jì)(ji)、MKS流(liu)量控制閥(fa)核心(xin)型號(hào)(hao)為：
MKS BARATRON 622A01TDE 1 Pa/133.32C70145 Lot 2
MKS Baratron Pressure Switch (41A & 51A)
MKS INSTRUMENTS PORTABLE BARATRON SYSTEM
MKS Instruments Baratron Pressure Transducer 220BHS-2A1
MKS Baratron Type 224/224HA Pressure Switch/Controll?er
MKS Baratron Absolute Pressure Transducer 627B Manual
MKS PAR-10 BARATRON
MKS BARATRON 627A-13614 .25 Pa/133.32
MKS Baratron Pressure XDCR, 1350-01153, 750B11TCD2GG
MKS BARATRON 223BD-00100AAB PRESSURE TRANSDUCER TYP 223
MKS Baratron Pressure Transducer 872B12PMD2MT1 100PSIA
MKS BARATRON HEAD UNIT MODEL# 698A12TRA 100 TORR
MKS Model 722A 21TCB3FJ Baratron, 20 TORR Range
MKS Baratron Manometer 100 Torr 622A12TAE new
MKS Baratron Capacitance Manometer 100 Torr 626A12TBE UNITY II
MKS BARATRON 627 PRESSURE TRNSDCER 10 TORR UNITY II
MKS Baratron Pressure Switch 10 Torr-G 41A-15460 NEW
MKS Baratron Single-end Vacuum Switch, 51A11TGA2BA001
MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER 722A13TCD2FA
MKS BARATRON PRESSURE GAUGE TRANSDUCER 1000 PSI 840B SS
MKS Baratron Manometer Transducer 1000 Torr 626A13TBE
MKS Baratron Single-end Pressure Switch, 51A13TCA1AA999
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