四(si)個點(dian)來介(jie)紹(shao)KD0009型德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器的優(yōu)點(dian):
1)溫度穩(wěn)(wen)定性好(hao)
德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器的電容(rong)值壹(yi)般(ban)與(yu)電極(ji)材(cai)料無(wu)關(guān)(guan),這(zhe)有利(li)於(yu)選(xuan)擇溫度系(xi)數(shù)(shu)低的材(cai)料,又因本身(shen)發(fā)(fa)熱(re)極(ji)小,影(ying)響(xiang)穩(wěn)(wen)定性甚(shen)微。而電(dian)阻傳(chuan)感(gan)器有(you)銅(tong)損,易(yi)發(fā)(fa)熱(re)產(chǎn)生零漂。
2)結(jié)構(gòu)簡(jian)單
德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器結(jié)構(gòu)簡(jian)單,易(yi)於(yu)制(zhi)造(zao)和(he)保(bao)證(zheng)高(gao)的精度,可(ke)以做得非(fei)常(chang)小巧(qiao),以實(shi)現(xiàn)(xian)某(mou)些(xie)特(te)殊的測(ce)量;能(neng)工(gong)作(zuo)在(zai)高溫,強輻(fu)射及(ji)強磁(ci)場(chang)等(deng)惡(e)劣(lie)的環(huán)境(jing)中,可(ke)以承受(shou)很(hen)大的溫度變(bian)化,承受(shou)高(gao)壓力(li),高沖擊,過載(zai)等(deng);能(neng)測(ce)量超高溫和(he)低壓(ya)差,也能(neng)對(dui)帶磁(ci)工(gong)作(zuo)進行(xing)測(ce)量。
3)動態(tài)響(xiang)應(ying)好(hao)
德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器由(you)於帶(dai)電(dian)極(ji)板間(jian)的靜電(dian)引力(li)很小(約(yue)幾個10^(-5)N),需(xu)要的作(zuo)用(yong)能(neng)量極(ji)小,又(you)由(you)於它(ta)的可動(dong)部(bu)分可以做得很(hen)小很(hen)薄(bo),即(ji)質(zhì)(zhi)量很輕,因此(ci)其(qi)固有頻(pin)率(lv)很(hen)高,動(dong)態(tài)(tai)響(xiang)應(ying)時間(jian)短(duan),能(neng)在(zai)幾兆赫茲(zi)的頻(pin)率(lv)下(xia)工作(zuo),特(te)別(bie)適用(yong)於(yu)動(dong)態(tài)(tai)測(ce)量。又由(you)於其(qi)介(jie)質(zhì)(zhi)損耗(hao)小可(ke)以用(yong)較高頻(pin)率(lv)供(gong)電,因此(ci)系(xi)統(tǒng)工作(zuo)頻(pin)率(lv)高(gao)。它可(ke)用(yong)於(yu)測(ce)量高速(su)變(bian)化的參數(shù)(shu)。
4)可(ke)以非(fei)接(jie)觸測(ce)量且靈敏度高(gao)
可非接(jie)觸測(ce)量回轉(zhuǎn)軸的振(zhen)動(dong)或偏心率(lv)、小型滾(gun)珠(zhu)軸承的徑向間(jian)隙(xi)等(deng)。當(dang)采(cai)用(yong)非(fei)接(jie)觸測(ce)量時,德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器具(ju)有(you)平均(jun)效應,可(ke)以減(jian)小工(gong)件(jian)表面(mian)粗(cu)糙(cao)度等(deng)對(dui)測(ce)量的影響(xiang)。
德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器除(chu)了上述的優(yōu)點(dian)外(wai),還(hai)因其(qi)帶電極(ji)板間(jian)的靜電(dian)引力(li)很小,所需(xu)輸(shu)入(ru)力(li)和(he)輸(shu)入(ru)能(neng)量極(ji)小,因而可(ke)測(ce)極(ji)低的壓力(li)、力(li)和(he)很(hen)小的加速(su)度、位(wei)移等(deng),可(ke)以做得很(hen)靈敏,分辨力(li)高,能(neng)感(gan)應0.01μm甚(shen)至(zhi)更小的位移。由(you)於其(qi)空氣(qi)等(deng)介(jie)質(zhì)(zhi)損耗(hao)小,采(cai)用(yong)差(cha)動(dong)結(jié)構(gòu)並接成(cheng)電(dian)橋(qiao)式時產(chǎn)生的零殘(can)極(ji)小,因此(ci)允(yun)許(xu)電(dian)路(lu)進行(xing)高(gao)倍(bei)率(lv)放大,使儀(yi)器具(ju)有很高的靈敏度。
德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器由(you)上下(xia)電(dian)極(ji)、絕緣(yuan)體和(he)襯(chen)底(di)構(gòu)(gou)成(cheng)。當(dang)薄(bo)膜受壓(ya)力(li)作(zuo)用(yong)時,薄(bo)膜會發(fā)(fa)生壹(yi)定(ding)的變形(xing),因此(ci),上(shang)下(xia)電(dian)極(ji)之(zhi)間(jian)的距離(li)發(fā)(fa)生壹(yi)定(ding)的變化(hua),從而(er)使電(dian)容(rong)發(fā)(fa)生變(bian)化(hua)。但電容(rong)式壓(ya)力(li)傳感(gan)器的電容(rong)與上(shang)下電(dian)極(ji)之(zhi)間(jian)的距離(li)的關(guān)(guan)系(xi)是(shi)非(fei)線性關(guān)(guan)系(xi),因此(ci),要用(yong)具(ju)有(you)補(bu)償功(gong)能(neng)的測(ce)量電路(lu)對輸(shu)出電容(rong)進行(xing)非(fei)線性補(bu)償。
德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器是(shi)以各種(zhong)類(lei)型的電容(rong)器作(zuo)為(wei)傳(chuan)感(gan)元件(jian),將被(bei)測(ce)物(wu)理(li)量或機械(xie)量轉(zhuǎn)換成(cheng)為(wei)電(dian)容(rong)變化(hua)量變化的壹種(zhong)轉(zhuǎn)換裝(zhuang)置(zhi),實(shi)際(ji)上(shang)就(jiu)是(shi)壹個具(ju)有可(ke)變參(can)數(shù)(shu)的電容(rong)器。德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器廣(guang)泛(fan)用(yong)於(yu)位(wei)移、角度、振(zhen)動(dong)、速(su)度、壓(ya)力(li)、成(cheng)分分析(xi)、介(jie)質(zhì)(zhi)特(te)性等(deng)方(fang)面(mian)的測(ce)量。常(chang)用(yong)的是平行(xing)板型電(dian)容(rong)器或(huo)圓筒型電(dian)容(rong)器。
德(de)國(guo)IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器具(ju)有(you)結(jié)構(gòu)簡(jian)單、耐高(gao)溫、耐輻(fu)射、分辨率(lv)高(gao)、動態(tài)(tai)響(xiang)應(ying)特(te)性好(hao)等(deng)優(yōu)(you)點(dian),廣(guang)泛(fan)用(yong)於(yu)壓(ya)力(li)、位移、加速(su)度、厚(hou)度、振(zhen)動(dong)、液(ye)位等(deng)測(ce)量中。但在使用(yong)中要註意以下(xia)幾個方(fang)面(mian)對測(ce)量結(jié)果的影響(xiang):①減(jian)小環(huán)(huan)境(jing)溫度、濕(shi)度變(bian)化(可能(neng)引(yin)起某(mou)些(xie)介(jie)質(zhì)(zhi)的介(jie)電(dian)常(chang)數(shù)或(huo)極(ji)板的幾何尺寸、相(xiang)對(dui)位置發(fā)(fa)生變(bian)化(hua));②減(jian)小邊緣(yuan)效應(ying);③減少寄生電(dian)容(rong);④使用(yong)屏蔽電極(ji)並接地(di)(對(dui)敏感(gan)電極(ji)的電場(chang)起(qi)保護作(zuo)用(yong),與(yu)外(wai)電(dian)場隔離(li));⑤註意漏電(dian)阻、激勵(li)頻(pin)率(lv)和(he)極(ji)板支架(jia)材(cai)料的絕緣(yuan)性。
實(shi)物如(ru)下(xia)圖所示(shi):
