德(de)國(guo)DI-SORIC電容式傳感(gan)器(qi)的(de)優(yōu)(you)勢如(ru)下:
1)溫(wen)度(du)穩(wěn)(wen)定(ding)性好(hao)
DI-SORIC電(dian)容(rong)式傳感(gan)器(qi)的(de)電(dian)容(rong)值(zhi)壹(yi)般與電極材料無關,這(zhe)有(you)利於(yu)選擇(ze)溫(wen)度(du)系(xi)數低(di)的(de)材料,又因本(ben)身發(fā)熱(re)極小(xiao),影響(xiang)穩(wěn)(wen)定(ding)性甚微(wei)。而電阻(zu)傳感(gan)器(qi)有(you)銅(tong)損,易(yi)發(fā)熱(re)產(chan)生零(ling)漂(piao)。
2)結(jie)構簡單(dan)
DI-SORIC電(dian)容式傳感(gan)器(qi)結(jie)構簡單(dan),易(yi)於(yu)制造(zao)和保(bao)證高(gao)的(de)精(jing)度(du),可以(yi)做(zuo)得(de)非常(chang)小(xiao)巧(qiao),以(yi)實(shi)現某些特殊(shu)的(de)測量(liang);能(neng)工(gong)作(zuo)在(zai)高溫(wen),強(qiang)輻(fu)射及強(qiang)磁(ci)場等惡(e)劣(lie)的(de)環(huán)(huan)境(jing)中,可以(yi)承(cheng)受(shou)很(hen)大的(de)溫(wen)度(du)變(bian)化,承受(shou)高(gao)壓(ya)力,高沖擊,過載(zai)等;能測量(liang)超高(gao)溫(wen)和(he)低(di)壓(ya)差,也(ye)能(neng)對(dui)帶磁(ci)工(gong)作(zuo)進行測量(liang)。
3)動態(tài)(tai)響(xiang)應(ying)好(hao)
DI-SORIC電(dian)容(rong)式傳感(gan)器(qi)由(you)於(yu)帶電極板(ban)間的(de)靜(jing)電(dian)引(yin)力(li)很小(xiao)(約(yue)幾個10^(-5)N),需要的(de)作(zuo)用(yong)能量(liang)極小(xiao),又由(you)於(yu)它的(de)可動部分可以(yi)做(zuo)得(de)很(hen)小(xiao)很(hen)薄,即(ji)質(zhi)量很(hen)輕,因此其(qi)固(gu)有(you)頻率很(hen)高(gao),動態(tài)(tai)響(xiang)應(ying)時(shi)間短(duan),能在(zai)幾(ji)兆赫茲的(de)頻率下工(gong)作(zuo),特別(bie)適用(yong)於(yu)動態(tài)(tai)測量(liang)。又(you)由(you)於(yu)其(qi)介(jie)質(zhi)損耗小可以(yi)用(yong)較高(gao)頻率供電(dian),因此系(xi)統(tǒng)工(gong)作(zuo)頻率高(gao)。它(ta)可用(yong)於(yu)測量(liang)高(gao)速(su)變(bian)化的(de)參(can)數。
4)可以(yi)非接觸(chu)測量(liang)且靈敏(min)度(du)高(gao)
可非接觸(chu)測量(liang)回(hui)轉軸(zhou)的(de)振(zhen)動或偏心(xin)率(lv)、小型(xing)滾(gun)珠軸承(cheng)的(de)徑向間(jian)隙(xi)等。當采(cai)用(yong)非接觸(chu)測量(liang)時(shi),DI-SORIC電容(rong)式傳感(gan)器(qi)具有(you)平均(jun)效(xiao)應(ying),可以(yi)減(jian)小工(gong)件(jian)表(biao)面粗(cu)糙(cao)度(du)等對測量(liang)的(de)影響(xiang)。
DI-SORIC電容式傳感(gan)器(qi)除(chu)了上(shang)述(shu)的(de)優(yōu)(you)點(dian)外(wai),還(hai)因其(qi)帶電極板(ban)間的(de)靜(jing)電(dian)引(yin)力(li)很小(xiao),所(suo)需輸入(ru)力(li)和輸入(ru)能量(liang)極小(xiao),因而可測極低(di)的(de)壓(ya)力、力和很小(xiao)的(de)加速(su)度(du)、位(wei)移(yi)等,可以(yi)做(zuo)得(de)很(hen)靈(ling)敏(min),分辨(bian)力(li)高,能感應(ying)0.01μm甚至(zhi)更小(xiao)的(de)位(wei)移(yi)。由(you)於(yu)其(qi)空(kong)氣(qi)等介質(zhi)損耗小,采(cai)用(yong)差動結(jie)構並(bing)接成電(dian)橋式時(shi)產生(sheng)的(de)零(ling)殘(can)極小(xiao),因此允(yun)許電路進行高倍率放(fang)大,使儀(yi)器(qi)具有(you)很高(gao)的(de)靈(ling)敏(min)度(du)。
DI-SORIC電(dian)容(rong)式傳感(gan)器(qi)由(you)上(shang)下電極、絕(jue)緣體和(he)襯(chen)底(di)構成。當薄膜(mo)受(shou)壓(ya)力作用(yong)時(shi),薄膜(mo)會(hui)發(fā)生(sheng)壹(yi)定(ding)的(de)變(bian)形(xing),因(yin)此,上(shang)下電極之(zhi)間的(de)距(ju)離(li)發(fā)生(sheng)壹(yi)定(ding)的(de)變(bian)化,從(cong)而使電容(rong)發(fā)生(sheng)變(bian)化。但電(dian)容式壓(ya)力傳感器(qi)的(de)電(dian)容(rong)與上(shang)下電極之(zhi)間的(de)距(ju)離(li)的(de)關(guan)系(xi)是非線(xian)性(xing)關系(xi),因此,要用(yong)具有(you)補(bu)償功能的(de)測量(liang)電(dian)路對(dui)輸出電容進行非線(xian)性(xing)補(bu)償。
DI-SORIC電(dian)容式傳感(gan)器(qi)是以(yi)各(ge)種(zhong)類(lei)型的(de)電(dian)容(rong)器(qi)作為傳感(gan)元(yuan)件,將被測物(wu)理量(liang)或機械(xie)量轉換(huan)成為電容(rong)變(bian)化量變(bian)化的(de)壹(yi)種(zhong)轉換(huan)裝置(zhi),實(shi)際上(shang)就是壹(yi)個具有(you)可變參(can)數的(de)電(dian)容(rong)器(qi)。DI-SORIC電容(rong)式傳感(gan)器(qi)廣泛用(yong)於(yu)位(wei)移(yi)、角(jiao)度(du)、振(zhen)動、速(su)度(du)、壓(ya)力、成分分析、介質(zhi)特性等方(fang)面的(de)測量(liang)。常(chang)用(yong)的(de)是平行板型(xing)電(dian)容器(qi)或圓筒(tong)型電(dian)容器(qi)。
DI-SORIC電容(rong)式傳感(gan)器(qi)具有(you)結(jie)構簡單(dan)、耐高溫(wen)、耐輻射、分辨(bian)率(lv)高、動態(tài)(tai)響(xiang)應(ying)特性好(hao)等優(yōu)點(dian),廣泛用(yong)於(yu)壓(ya)力、位(wei)移(yi)、加速(su)度(du)、厚(hou)度(du)、振(zhen)動、液(ye)位(wei)等測量(liang)中。但在(zai)使用(yong)中要註(zhu)意(yi)以(yi)下幾個方(fang)面對(dui)測量(liang)結(jie)果的(de)影響(xiang):①減小環(huán)(huan)境(jing)溫(wen)度(du)、濕(shi)度(du)變(bian)化(可能引起(qi)某些介質(zhi)的(de)介(jie)電(dian)常(chang)數或極板(ban)的(de)幾(ji)何尺寸(cun)、相對(dui)位(wei)置(zhi)發(fā)生(sheng)變(bian)化);②減小(xiao)邊緣效(xiao)應(ying);③減(jian)少(shao)寄(ji)生電(dian)容(rong);④使用(yong)屏(ping)蔽電極並(bing)接地(對(dui)敏(min)感電極的(de)電(dian)場(chang)起(qi)保護作(zuo)用(yong),與外(wai)電(dian)場(chang)隔離(li));⑤註意(yi)漏(lou)電(dian)阻(zu)、激勵(li)頻率和(he)極板(ban)支(zhi)架材料的(de)絕(jue)緣性(xing)。
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