廣聯(lián)用四(si)個(gè)點(diǎn)(dian)來介(jie)紹(shao)KD0009型(xing)德(de)國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)優(yōu)(you)點(diǎn)(dian):
1)溫度(du)穩(wěn)(wen)定性好
德國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)電(dian)容(rong)值壹(yi)般與電極(ji)材(cai)料無關(guān),這(zhe)有(you)利於選(xuan)擇(ze)溫度(du)系(xi)數(shù)(shu)低(di)的材(cai)料,又(you)因(yin)本(ben)身發(fā)(fa)熱(re)極小(xiao),影(ying)響穩(wěn)(wen)定性甚(shen)微。而電阻傳(chuan)感(gan)器(qi)有(you)銅(tong)損(sun),易發(fā)(fa)熱(re)產(chǎn)生(sheng)零(ling)漂(piao)。
2)結(jié)(jie)構(gòu)(gou)簡(jian)單(dan)
德國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)結(jié)(jie)構(gòu)(gou)簡(jian)單(dan),易於制造(zao)和保證高(gao)的(de)精(jing)度(du),可(ke)以做(zuo)得(de)非常小(xiao)巧,以實(shí)(shi)現(xiàn)某些特殊的測(ce)量(liang);能工(gong)作在(zai)高(gao)溫,強(qiáng)(qiang)輻(fu)射及(ji)強(qiáng)(qiang)磁場(chang)等惡劣(lie)的環(huán)(huan)境中,可(ke)以承(cheng)受(shou)很(hen)大(da)的(de)溫度(du)變(bian)化,承(cheng)受(shou)高(gao)壓(ya)力,高(gao)沖擊,過(guo)載(zai)等;能測(ce)量超(chao)高(gao)溫和(he)低(di)壓(ya)差(cha),也能對(dui)帶磁工(gong)作(zuo)進(jìn)行測(ce)量(liang)。
3)動態(tài)響應(yīng)好
德(de)國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)由於帶電(dian)極板(ban)間(jian)的(de)靜電引(yin)力很(hen)小(xiao)(約幾個(gè)10^(-5)N),需(xu)要(yao)的(de)作用(yong)能量(liang)極小,又(you)由於它的(de)可動部分可(ke)以做(zuo)得(de)很(hen)小(xiao)很(hen)薄(bo),即質(zhì)(zhi)量(liang)很(hen)輕(qing),因(yin)此其固有(you)頻(pin)率很(hen)高(gao),動態(tài)響應(yīng)時(shí)間(jian)短(duan),能在(zai)幾兆(zhao)赫茲(zi)的頻(pin)率下工作,特別(bie)適(shi)用於動態(tài)測量。又(you)由於其介(jie)質(zhì)(zhi)損(sun)耗(hao)小可(ke)以用(yong)較(jiao)高(gao)頻(pin)率供(gong)電(dian),因(yin)此系統(tǒng)工作頻(pin)率高(gao)。它(ta)可(ke)用(yong)於測量(liang)高(gao)速(su)變化的(de)參數(shù)(shu)。
4)可以非接觸測(ce)量且(qie)靈(ling)敏(min)度(du)高(gao)
可(ke)非接觸測(ce)量回(hui)轉(zhuǎn)軸(zhou)的(de)振動或(huo)偏(pian)心率、小(xiao)型(xing)滾(gun)珠軸承(cheng)的(de)徑(jing)向(xiang)間(jian)隙(xi)等。當(dāng)采用(yong)非接觸測(ce)量時(shí)(shi),德(de)國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)具有平均效(xiao)應(yīng),可以減小(xiao)工(gong)件表面(mian)粗糙(cao)度(du)等對測(ce)量(liang)的(de)影(ying)響。
德國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)除了(le)上述(shu)的(de)優(yōu)(you)點(diǎn)(dian)外(wai),還(hai)因(yin)其帶電極板(ban)間(jian)的(de)靜電引(yin)力很(hen)小(xiao),所需(xu)輸(shu)入力(li)和(he)輸入能量(liang)極小,因(yin)而可測極低(di)的壓(ya)力、力(li)和很(hen)小(xiao)的加(jia)速(su)度(du)、位移(yi)等,可以做(zuo)得(de)很(hen)靈(ling)敏(min),分(fen)辨(bian)力(li)高(gao),能感(gan)應(yīng)0.01μm甚(shen)至更(geng)小的(de)位移(yi)。由於其空(kong)氣(qi)等介(jie)質(zhì)(zhi)損(sun)耗(hao)小,采用(yong)差(cha)動結(jié)(jie)構(gòu)(gou)並(bing)接成(cheng)電橋(qiao)式(shi)時(shí)(shi)產(chǎn)生(sheng)的零(ling)殘(can)極(ji)小(xiao),因(yin)此允許(xu)電路(lu)進(jìn)行高(gao)倍(bei)率(lv)放(fang)大(da),使儀(yi)器(qi)具有很(hen)高(gao)的(de)靈(ling)敏(min)度(du)。
德(de)國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)具有結(jié)構(gòu)(gou)簡(jian)單(dan)、耐高(gao)溫、耐輻(fu)射、分(fen)辨(bian)率(lv)高(gao)、動態(tài)響應(yīng)特性(xing)好(hao)等優(yōu)(you)點(diǎn)(dian),廣泛用於壓(ya)力、位移(yi)、加(jia)速(su)度(du)、厚(hou)度(du)、振動、液位等測量(liang)中。但(dan)在(zai)使用(yong)中要(yao)註意(yi)以下幾個(gè)方面(mian)對測(ce)量結(jié)果(guo)的影(ying)響:①減小(xiao)環(huán)(huan)境溫度(du)、濕(shi)度(du)變(bian)化(可(ke)能引(yin)起(qi)某(mou)些介(jie)質(zhì)(zhi)的(de)介(jie)電(dian)常數(shù)(shu)或(huo)極(ji)板(ban)的幾(ji)何尺寸、相(xiang)對(dui)位置(zhi)發(fā)(fa)生(sheng)變化);②減小(xiao)邊(bian)緣效(xiao)應(yīng);③減少(shao)寄(ji)生(sheng)電容(rong);④使用(yong)屏蔽(bi)電(dian)極(ji)並(bing)接地(di)(對敏(min)感(gan)電(dian)極的電場(chang)起(qi)保護(hù)作(zuo)用,與外(wai)電(dian)場(chang)隔離);⑤註意(yi)漏電(dian)阻、激(ji)勵頻(pin)率和(he)極(ji)板(ban)支架(jia)材(cai)料的絕(jue)緣性(xing)。
德(de)國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)由上下電極、絕(jue)緣體(ti)和(he)襯底構(gòu)(gou)成(cheng)。當(dāng)薄(bo)膜受(shou)壓(ya)力作(zuo)用時(shí)(shi),薄膜會發(fā)(fa)生(sheng)壹(yi)定的變形(xing),因(yin)此,上下電極之間(jian)的(de)距(ju)離發(fā)(fa)生(sheng)壹(yi)定的變化,從(cong)而使電(dian)容(rong)發(fā)(fa)生(sheng)變化。但(dan)電容(rong)式壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)電(dian)容(rong)與上下電極之間(jian)的(de)距(ju)離的(de)關(guān)(guan)系是(shi)非線性(xing)關(guān)(guan)系,因(yin)此,要(yao)用(yong)具有補(bǔ)償(chang)功能的(de)測量電(dian)路(lu)對輸出(chu)電(dian)容(rong)進(jìn)行非線性(xing)補(bǔ)(bu)償(chang)。
德國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)是(shi)以各種(zhong)類型(xing)的(de)電容(rong)器(qi)作(zuo)為(wei)傳(chuan)感(gan)元(yuan)件,將被(bei)測物理(li)量(liang)或(huo)機(jī)械量轉(zhuǎn)(zhuan)換成(cheng)為電(dian)容(rong)變化量(liang)變化的(de)壹(yi)種(zhong)轉(zhuǎn)換裝(zhuang)置,實(shí)際(ji)上就(jiu)是(shi)壹(yi)個(gè)具有可變參(can)數(shù)(shu)的電容(rong)器(qi)。德(de)國IFM電容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)廣(guang)泛(fan)用(yong)於位移(yi)、角度(du)、振動、速(su)度(du)、壓(ya)力、成(cheng)分分(fen)析、介(jie)質(zhì)(zhi)特性(xing)等方面(mian)的測(ce)量。常用(yong)的是平行板(ban)型(xing)電(dian)容(rong)器(qi)或(huo)圓(yuan)筒型(xing)電(dian)容(rong)器(qi)。
實(shí)(shi)物如下圖(tu)所(suo)示(shi):
